检测分析

产品简介：用于制绒至印刷前工序，配合自动化将隐裂崩边电池片挑出，降低后道工序因隐裂导致的损失。
参数性能：产能>3600片/小时
漏检率≤0.1%
误检率≤0.1%

产品简介：花篮检测系统是在自动化下料处对花篮内进行碎片、带液、叠片、错齿、缺片检验。
参数性能：检测速度8S
漏检率≤0.5%
误检率≤0.5%

产品简介：碎片检测适用于自动化上下料，主要检测电池片崩边缺角等缺陷。
参数性能：产能≥6000片/小时/工位
漏检率≤0.1%
误检率≤0.2%

产品简介：用于PECVD工序，检测来往石墨舟内硅片翘曲、缺片、舟体变形、螺丝松动。
参数性能：单舟检测时间≤8s
漏检率≤0.1%
误检率≤0.1%

产品简介：在线方阻检测采用光电压法，拥有较高产能，无损伤，并且可自觉控制电池片生产的质量需求。
参数性能：测量速度5ms/点；测量光斑8mm；测量范围 20-400Q/sq；测量误差≤3%

产品简介：用于硅片表面反射率检测，配合自动化实现自动检测，提高质量控制需求。
参数性能：波长范围350-1050nm
反射率测试:0-100%
测试时间<0.2S点；测试精度<0.05

产品简介：通过特定光束照射硅片，结合算法得到薄膜材料的光学参数(厚度、折射率、消光系数)，用于Poly-Si沉积工艺监控，提高产品良率。
参数性能：单点检测速度<0.5s；测试精度±1nm；重复精度(静态)1nm

产品简介：用于PECVD工序，配合自动插卸片机将镀膜后的电池片自动进行色差和缺陷检测。
参数性能：≥自动插卸片机每小时产能
漏检率≤0.1%
误检率≤0.3%

产品简介：用于PECVD工序，配合自动插卸片机将镀膜后的电池片自动缺陷检查，通过AOI外观检测+PL内部检测共同处理将存在缺陷的电池片挑出。
参数性能：≥自动插卸片机每小时产能
漏检率≤0.3%；误检率≤0.5%