核心零部件

碳化硅一体舟托
产品材料：碳化硅；产品结构形式：一体烧结成型；产品用途：在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机，硅片花篮的运输载具。阅读更多
碳化硅小舟
产品材料：碳化硅；产品结构形式：一体烧结成型；产品用途：在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机,承载硅片。阅读更多
碳化硅拼装舟托
产品材料：碳化硅；产品结构形式：分体烧结成型，胶粘拼接组装；产品用途：在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机,硅片花篮的运输载具。阅读更多
粗丝热场
选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体，优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命；适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。阅读更多
细丝热场
LAPLACE热场专为光伏热制程设备定制，采用一体真空吸附的制程方式，选用硬质细丝作为加热体，有着优越的温度均匀性及产品一致性，适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。阅读更多
镀层石英管
通过纳米结晶技术制备镀层石英通管，产品的耐温性能、热震性能、抗腐蚀性能明显提升。适用于光伏电池产线热制程工艺设备。阅读更多

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