断面钝化功能介绍

利用激光无损切割技术对电池切片，同步采用ALD工艺在边缘沉积ALOx钝化层，适用于TOPCon电池应用。

激光划片参数配置

• 功能激光划片
• 电池尺寸尺寸182-230mm；厚度110-230um
• 产能≥12000片/小时
• 碎片率≤0.02%@182;≤0.03%@210
• 稼动率≥98.5%
• 激光功率开槽≥50W，裂片≥300W
• 激光器性能功率稳定性≤2%RMS，年衰减<3%
• 切割综合精度±0.1mm
• 缺陷检测≥0.5mm*0.5mm
• 用水量每万片小于 1L

断面钝化膜厚均匀性

断面钝化参数配置

• 平均开机率99%
• 载片量21600半片/单管载片
• 均匀性片内&片间≤4%，批间≤3%
• 温度控制四分热场:12段独立控温，兼容400℃℃退火工艺
• 工艺方式管式ALD，TMA+水
• 配置根据客户要求匹配各种在线、离线方案

效率增益组件效果

• 组件功率提升+5.2W
• 组件开压(Voc.)提升+0.088V
• 组件电流(Isc.)提升+0.008A
• 组件填充(FF.)提升+0.41%

ALD常规氧化铝下舟膜厚

• 产能≥7200片/小时(半片)
• Uptime≥98.5%(100%-设备故障率)
• 碎片率100um-145um≤0.1%(机损碎片数/投入片数)
• AOI外观检测分辨率边缘缺口、崩边:120um x120um；污染、异物尺寸:200um x200um
• 电压测试分辨率0.0001V
• 电流测试分辨率0.0001A
• IV 动态稳定性动态稳定性<0.05%，静态稳定性<0.02%，每轮 EFF极差≤0.05%
• EL 可检测最小缺陷大小0.5mm*0.5mm
• 分档≥120bin 分档(单边)