粗丝热场

粗丝热场

功能介绍

选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体，优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命；适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。

参数配置

兼容石英管直径430-540mm
温区数量≥6个
分区数量≥4个
恒温区长度≤2700mm
最大升温速率20°C/min
最大降温速率5°C/min
温控精度1°C/4h
温控范围≤1100°C
使用寿命≥1年

技术特点

整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放
陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、化学稳定性好，施工方便等优点
陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性