低压硼扩散设备

低压硼扩散设备

功能介绍

通过高温热分解和化学反应，实现硼硅玻璃(BSG)的生长和硼原子的扩散掺杂。应用于硅片氧化，硼掺杂。

参数配置

平均开机率98%
炉管内径 430 – 480mm
单管载片量2200 – 2880 片/管, 双插
硅片尺寸可兼容182-230各种硅片尺寸
方阻均匀性片内与片间 , ≤ 5%；批次间, ≤ 3%
温度范围600-1050℃
配置可配置水氧，在线隔膜泵清洗

技术特点

采用双插大产能，成本低
独创四分热场，搭载ATS系统控温更精准
法兰设计吹扫环，改善保养周期
新型水冷炉门系统
新型冷却净化台
全自动智能化控制系统
一键温度自整定功能，减少调试时间
全新自动吹扫模式，改善泵和耗件维护周期

镀膜效果