低压氧化/退火设备

低压氧化/退火设备

功能介绍

低压水平氧化/退火系统适用于多种太阳能电池结构热退火和热激活工艺，适用于PERC，PERT，TOPCon和BC等电池应用。

参数配置

平均开机率98%
炉管内径430-480mm
单管载片量2400-2880片/管
硅片尺寸可兼容182-230各种硅片尺寸
温度范围600-1050℃
配置可配置水氧工艺

技术特点

采用双插大产能，成本低
独创四分热场，搭载ATS系统控温更精准
新型法兰固定方式，提升密封性
新型水冷炉门系统
新型冷却净化台
一键式温度自整功能，减少调试时间
全自动智能化控制系统